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东莞洁净室空气过滤原理及温湿度要求
作者:東鑫净化工程网 | 发布时间:2017-05-10 15:43 | 浏览次数:
东莞洁净室的空气过滤原理及温湿度的要求:
1、空气过滤原理
东莞洁净室空气是靠进风系统将气流“活塞"般的挤压进入,气流通过初效过滤器,然后再经中效过滤器,然后经过 高效或超高效过滤器,将洁净空气传入东莞洁净室内,使东莞洁净室空气尘粒迅速达到相应东莞洁净室的标准要求,并且把东莞洁净室内污染排出,为考虑节能,排出的污染空气经过回风后,再经过高效过滤器传入东莞洁净室。
2、温湿度要求
东莞洁净室空气温湿度的要求由以下综合确定
(1)对人的舒适性,以人穿着不同洁净服情况下充分发挥工作效率,一般温度以21OC~24OC较适宜,若洁净服要求严,则20OC~22OC,波动<1.5OC,湿度30%~70%;
(2)工艺的要求;
(3)经济性,温湿度及相对湿度夏天越低,冬天越高,则空气处理能耗越大。
当前微电子工厂洁净室对温湿度的参数大致范围是:温度为24OC+/-1~2OC,要求严的为22OC+/-0.3~0.5OC。湿度为45%+/-5%~10%,要求严的为43%+/-3%。要求全年维持。