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什么是洁净室?
作者:東鑫净化工程网 | 发布时间:2019-05-09 10:06 | 浏览次数:
       洁净室,亦称为无尘室或洁净室。洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。即不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
 
       洁净室主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。
       洁净室等级:世界各国均有自己定义的规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多。 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,高的等级为Class 1,低则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。